截至8月18日收盤，上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)強勢上漲2.43%，成分股艾森股份上漲12.53%，華海誠科上漲8.45%，天岳先進上漲6.96%，晶升股份，芯源微等個股跟漲?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）因光刻機今日盤中強勢反彈，上漲2.83%，最新價報1.13元，今日盤中買盤活躍。

值得注意的是，科創(chuàng)半導體ETF（588170）尾盤持續(xù)溢價，截至收盤，溢價上浮到47bp，可見資金對硬科技核心——半導體設(shè)備、材料等方面的關(guān)注。

消息方面，近日，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學成果轉(zhuǎn)化基地傳出喜訊：作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

公開信息顯示，科創(chuàng)半導體ETF（588170）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導體設(shè)備（59%）和半導體材料（25%）細分領(lǐng)域的硬科技公司。半導體設(shè)備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。

對于沒有場內(nèi)賬戶的客戶，科創(chuàng)半導體ETF聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）正在發(fā)售中，助力投資者多樣化配置半導體核心資產(chǎn)。